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    500F高真空多層光學鍍膜機系列

    BLLVAC-500F繼承高性能、高產量的特點與以往機型相比實現了更高的性價比,節電50%。 

    常規配置

    真空系統

    低真空泵:2X-70(選擇:進口SV300,E2M17/275)

    增壓泵:ZJP150(選擇:進口WAU)

    高真空泵:渦輪分子泵(選擇:低溫泵,擴散泵或進口磁懸。

    真空閥系統

    -型號40,50,150,550

    真空室加熱系統

    -最高溫度:0到400℃

    -型號:不銹鋼管裝加熱器(選擇:鹵素燈管)

    基片架盤型號:

    -球面型(選擇:平面型,3公自轉,多行星型)

    -轉速:0到30轉數/分

    軟啟,軟停,可調速

    電器控制系統:

    -觸膜屏面板和PLC控制

    -可修改和改變重要的參數

    -全程自動控制鍍膜以達到最終產品所需要求

    VAC系統

    -進口低高真空感應器:1

    MFC系統

    -進口質量流量控制器:1

    -進口電磁閥:1

    APC系統

    -進口質量流量控制器:1

    -進口電磁閥:1

    鍍膜沉積控制系統

    -晶控控制:美國產IC-6,

    XTC-3S/M,INFICON310。

    -石英晶體感應器:1,2,6頭

    光控控制

    -國產光控(或英國inteiiemetrics)

    離子源

    -霍兒源(或考夫曼,RF源)

    電子束源

    -容量:15cc,25cc,40cc等等

    -偏轉角度:180°或270°

    -坩堝:4,6,8,12,16,2+1,6+1個等

    深冷系統

    -真空室麥斯納阱

    -擴散泵冷阱

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